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用低能离子束轰击工艺制备了３－５μｍ及８－１０μｍ碲镉汞ｐｎ结，研究了它们的电流－电压及电容－电压特性，发现该ｐｎ结为缓变结，与通常认为的关于低能离子束轰击ｐ型碲镉汞造成表面转型的机制主要是汞扩散的假说相符合。
低能离子束轰击碲镉汞制备pn结电学特性的研究
【摘 要】
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用低能离子束轰击工艺制备了３－５μｍ及８－１０μｍ碲镉汞ｐｎ结，研究了它们的电流－电压及电容－电压特性，发现该ｐｎ结为缓变结，与通常认为的关于低能离子束轰击ｐ型碲镉汞造成表面转型的机制主要是汞扩散的
【机 构】
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中国科学院上海技术物理研究所,中国科学院传感技术国家重点实验室,山东大学光学系
【出 处】
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红外与毫米波学报
【发表日期】
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1998年1期
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