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KLA—Tencor Corp．（Milpitas，Calif．）日前宣布推出太阳能电池检测系统——PVI-6．对光伏硅片和电池进行在线双面光学检测。检测工艺贯穿于整个太阳能电池量产过程，从空白硅片到氮化硅（SiN）涂布、金属镀膜和最终的分类测试，而该设备则用于其中一部分检测。KLA—Tencor表示，PVI-6软件提升了整体太阳能电池量产工艺的成品率，并支持更精确的产品分选。