CMOS工艺实现的热风速传感器及其封装

来源 :东南大学学报(自然科学版) | 被引量 : 26次 | 上传用户：ldbeight

【摘要】

：

给出了一种完全基于CMOS工艺的热风速传感器及其封装的结构、工作原理以及测试结果.该传感器由加热元件和测温元件构成,多晶硅加热电阻元件产生一定的温度分布,CMOS纵向衬底晶体管实现由风速导致的温度变化的测量.传感器的封装采用导热胶在背面贴陶瓷的方式进行.该传感器采用恒温差工作模式,风速测量采用热损失型原理,测试电路是由仪器放大器组成的控制和测试系统.经过风洞测试,风速的测量可以达到30m/s,风速

【作者】

：

孙建波秦明黄庆安

【机构】

：

东南大学MEMS教育部重点实验室

【出处】

：

东南大学学报(自然科学版)

【发表日期】

：

2005年06期

【关键词】

：

风速传感器恒温差封装 wind sensor constant-temperature-difference mode package

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