【摘 要】
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介绍了等离子体源离子注入装置PSⅡ-EX原型机和PSⅡ—IM工业样机,并对其功能、主要技术指标及特点作了简述。等离子体源离子注入处理后,一些材料表面机械性能(如显微硬度、耐
【机 构】
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介绍了等离子体源离子注入装置PSⅡ-EX原型机和PSⅡ—IM工业样机,并对其功能、主要技术指标及特点作了简述。等离子体源离子注入处理后,一些材料表面机械性能(如显微硬度、耐磨性、摩擦因数及生物相容性等)的改善情况、改性层的微观分析及计算机模拟结果、工艺开发及初步的等离子体源离子注入增强沉积实验也作了介绍。最后提出了拟开展的有关PSⅡ工作。
The PSⅡ-EX prototype machine and PSⅡ-IM industrial prototype of plasma source ion implantation equipment are introduced, and their functions, main technical indexes and characteristics are introduced briefly. Plasma ion source implantation, some of the material surface mechanical properties (such as microhardness, wear resistance, friction factor and biocompatibility, etc.) to improve the microstructure of the micro-analysis and computer simulation results, process development and Preliminary plasma source ion implantation enhanced deposition experiments were also introduced. Finally proposed to be carried out on PS Ⅱ work.
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