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在O2/Ar气氛中，用射频磁控溅射法在常温下溅射V2O5粉末靶得到氧化钒薄膜。在350℃热处理后，经XRD分析，薄膜的主要成分为V2O5。在不同温度下对V2O5薄膜作了对“空气和SO2”的混合气氛的敏感特性测试分析，发现在300～390℃范围内，薄膜对SO2气体灵敏随温度的升高而增大，在超过390℃后，灵敏度随温度升高而降低。在SO2气体去除后，薄膜的电阻值能恢复到初始状态，气敏过程可反复进行。文章对V2O3薄膜的气敏机理作了定性描述。