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移相干涉术易受环境振动的干扰,影响高精度的测量目的.为了进行振动环境下在线光干涉测试,必须采用有效的抗振技术.从移相算法、干涉图采集、光学结构、振动探测与补偿等方面介绍了移相干涉仪抗振技术的研究进展.目前具有抗振功能的移相干涉测试技术日益受到重视.
抗振型移相干涉测量术的进展
【摘 要】
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移相干涉术易受环境振动的干扰,影响高精度的测量目的.为了进行振动环境下在线光干涉测试,必须采用有效的抗振技术.从移相算法、干涉图采集、光学结构、振动探测与补偿等方面
【机 构】
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南京理工大学电光学院,南京理工大学电光学院
【出 处】
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光学仪器
【发表日期】
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2004年5期
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