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采用离子注入、离子淀积及后期退火方法制备了稀磁半导体单晶MnxGa1-xSb, 在室温下(300 K)获得了单晶的磁滞回线. 用X射线衍射方法分析了铁磁性半导体单晶MnxGa1-xSb的结构, 用电化学C-V法分析了单晶的载流子浓度分布. 由X射线衍射得知, MnxGa1-xSb中Mn含量逐渐由近表面处的x = 0.09下降到晶片内部的x = 0. 电化学C-V测得单晶的空穴浓度高达1×1021 cm-3, 表明MnxGa1-xSb单晶中大部分Mn原子占据Ga位, 起受主作用.