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利用直流磁控溅射法，在室温玻璃衬底上制备了具有良好附着性的多晶ZnO：A1（ZAO）薄膜。比较了室温下获得的薄膜与衬底加热条件下所得薄膜的结晶程度，研究了厚度对室温条件下制备的ZAO薄膜表面形貌、电学性能及紫外一可见一近红外光区透光性的影响。结果表明，室温条件下制备的ZAO薄膜也具有（002）面择优取向，随着膜厚的增加薄膜晶粒化程度提高，载流子浓度和迁移率增大，电阻率下降，薄膜在紫外光区的吸收边发生红移，在可见光区的平均透过率降低，在近红外光区的透过率随厚度的增加而减小。厚度为1200nm的ZAO薄膜具有