【摘 要】
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以原子比Al:Sb:Te=0.7:2:3的混和粉为原料,采用真空合成法与烧结-热等静压制备Al0.7Sb2Te3三元靶材,通过XRD、FESEM、EDS、XPS等手段表征其性能,且重点采用XPS研究Al在Al0.7S
【基金项目】
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国家重点研发计划专项项目(2017YFB0306000)
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以原子比Al:Sb:Te=0.7:2:3的混和粉为原料,采用真空合成法与烧结-热等静压制备Al0.7Sb2Te3三元靶材,通过XRD、FESEM、EDS、XPS等手段表征其性能,且重点采用XPS研究Al在Al0.7Sb2Te3三元靶材的存在状态。结果表明:Al掺杂后,靶材主相Sb2Te3的晶格常数变化,且单质Al弥散相与Al0.1Sb2Te3基体相共存,表明掺杂对靶材的组织结构确有影响;刻蚀深度从0 nm增加至405.9 nm,Al价态从以Al2O3的化合态为主逐渐过渡至以单质态为主,且Al以Al2O3形态为主的区域深度约90 nm;刻蚀深度为405.9 nm的XPS分析表明,Al0.1Sb2Te3中的Al通过有效化合形成AlSb影响着靶材的组织结构。
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