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本文介绍了液湘外延系统设备的密封可靠性与真空度对外延片质量的影响。按要求设计、制作了操作方便、真空度高、密封性好、全硬接液相外延设备。
液相外延系统的密封与设备制作
【摘 要】
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本文介绍了液湘外延系统设备的密封可靠性与真空度对外延片质量的影响。按要求设计、制作了操作方便、真空度高、密封性好、全硬接液相外延设备。
【出 处】
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光通信研究
【发表日期】
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1987年2期
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