硅烷流化床法高纯多晶硅材料制备技术分析

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随着近年来全球光伏市场的爆发性增长,作为原料的多晶硅及其制造技术也获得了高度的关注。由于光伏发电对成本提出越来越高的要求,而长期占据市场主流的改良西门子法在成本方面的潜力已挖潜殆尽,新的技术呼之欲出,而硅烷流化床作为目前最为可能的替代技术,成为各大多晶硅厂商技术研究的方向之一。本文对硅烷流化床法的发展、工艺特点、技术难度及拟解决方向、发展趋势进行了分析。
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