论文部分内容阅读
利用单圈内置式ICP-CVD方法在室温下制备了Si薄膜。在拉曼光谱、原子力显微镜（AFM）对样品结构分析的基础上，采用对样品结构无损伤的椭圆偏振光谱（SE）法对样品进行了测量，结合有效介质近似（EMA）模型，对样品的微结构进行了计算拟合。拉曼光谱及AFM分析表明：样品为具有纳米晶相的Si薄膜；分光椭圆偏振法结合EMA模型对样品微结构的拟合分析得出了同样的结论，说明即使在室温下用ICP-CVD也获得了具有纳米晶相的Si薄膜，薄膜微结构与源气体SiH4浓度有密切关系。说明分光椭圆偏振法是研究薄膜材料的一种有力