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评述了真空计的主要类型、结构、压电谐振式真空传感器(PRVS)工作机制、特点、应用、关键技术、技术不足和其发展现状,并根据目前某些关键技术的突破,梳理了单体式、组合式压电谐振式真空计的成果。按照对国内、外文献的技术跟踪和市场的调研,对PRVS的发展趋势进行了初步预测。
压电谐振式真空传感器及真空计的发展现状及其展望
【摘 要】
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评述了真空计的主要类型、结构、压电谐振式真空传感器(PRVS)工作机制、特点、应用、关键技术、技术不足和其发展现状,并根据目前某些关键技术的突破,梳理了单体式、组合式压电谐振式真空计的成果。按照对国内、外文献的技术跟踪和市场的调研,对PRVS的发展趋势进行了初步预测。
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十九研究所
【出 处】
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传感器与微系统
【发表日期】
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2020年08期
【基金项目】
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国家高技术研究发展计划(“863”计划)资助项目(2015AA043505)
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