【摘 要】
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本文详细地综述了美国蒙桑托公司和西德瓦克公司的用于VLSI及ULSI的硅片标准.其中包括几何参数、结构参数、化学参数和电学参数.
This article provides a comprehensive re
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本文详细地综述了美国蒙桑托公司和西德瓦克公司的用于VLSI及ULSI的硅片标准.其中包括几何参数、结构参数、化学参数和电学参数.
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