【摘 要】
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为了研究掺铝氧化锌（AZO）薄膜在制备过程中不同氧气分压下的晶体结构、表面形貌和光学性能的变化,采用脉冲激光沉积法（PLD）在玻璃基片上沉积AZO薄膜。结果表明,当氧气分压为0.8 P
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（11364003）,广西科学基金资助项目（桂科基018001）,广西理工科学实验中心重点项目（LGZX201105）,广西有色金属及材料加工新技术教育部重点实验室主任基金项目（GXKFJ-25,GXKFZ-04）
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为了研究掺铝氧化锌（AZO）薄膜在制备过程中不同氧气分压下的晶体结构、表面形貌和光学性能的变化,采用脉冲激光沉积法（PLD）在玻璃基片上沉积AZO薄膜。结果表明,当氧气分压为0.8 Pa时,AZO薄膜沿（002）面择优取向生长,具有最好的结晶质量,薄膜表面平整且结构致密,并且呈现出排列均匀的纳米晶粒。同时发现,随着氧气分压从0.2 Pa升高至8.0 Pa,AZO薄膜的紫外吸收边逐渐向长波方向移动。而在可见光范围内,氧气分压对AZO薄膜在可见光区透射率影响不大,透射率均在80%以上。
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