含氟湿电子化学品废液的处理与综合利用

来源 :中国化工贸易 | 被引量 : 0次 | 上传用户:Shauphei
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随着我国近年来电子信息产业的高速发展,属于电子信息产业的芯片制造、大规模集成电路制造等领域产能快速增加,生产这些产品所必需的含氟湿电子化学品(主要包括电子级氢氟酸、含氟化氢铵(氟化铵)的缓冲蚀刻液)的需求也快速增加,如何有效处理、利用含氟湿电子化学品应用产生的废液,成了目前行业面临的问题。本文就湿电子化学品废液处理的现状及发展方向进行了阐述,并对今后含氟湿电子化学品废液的综合利用提出了合理化建议。
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