【摘 要】
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针对空间衍射成像系统对大口径、结构轻量化、空间可展开等特性的要求,设计并制作了用于空间望远镜的新型衍射元件-PI薄膜光子筛.首先,分析了光子筛的设计理论;针对空间应用
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,中国科学院大学
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针对空间衍射成像系统对大口径、结构轻量化、空间可展开等特性的要求,设计并制作了用于空间望远镜的新型衍射元件-PI薄膜光子筛.首先,分析了光子筛的设计理论;针对空间应用的特点和原则,采用振幅型光子筛的设计思路给出设计参数;用UG软件设计并加工制作了光子筛的机械固定结构.然后,通过镀膜、光刻、刻蚀等微细加工工艺制作了PI薄膜光子筛.最后,测试了光子筛的衍射效率及成像性能.实验结果表明：光子筛在波长632.8 nm处的实际衍射效率为4.916％,是理论值的73.9％.使用He-Ne激光器,选取10 μm的星点孔
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