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用Ｙ、Ｂａ、Ｃｕ的三氟乙酸盐溶液，通过ＭＯＤ法在ＳｒＴｉＯ３（１００）衬底上成功地制得了黑色的、表面光滑的ＹＢＣＯ超导薄膜。研究了两种理想的成膜烧结工艺，对膜进行了物相研究。结果表明：在８５０℃，潮湿氧气氛中烧结的薄膜具有一定的择优取向；而在７５０℃，潮湿的低氧气氛中烧结的薄膜则具有高度的ｃ轴织构，前者的Ｔｃ（ｏｎｓｅ）≈９０Ｋ，Ｔｃ０≈７９Ｋ，较低的氧分压似乎有利于ｃ轴结构。