【摘 要】
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用注射超声喷雾法将前驱体由针管直接送入超声喷头内,在石英基板上制备Zn_（1-x）Cr_xO（x=0.0,0.01,0.03,0.05）薄膜。采用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、荧光光谱仪、紫外-可见分光
【机 构】
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福建师范大学物理与能源学院、福建省量子调控与新能源材料重点实验室,福建省半导体光电材料及其高效转换器件协同创新中心
【基金项目】
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国家重点基础研究发展计划(973)项目(2011CBA00200);国家自然科学基金项目(61574037,11004039);福建省重大专项项目(2013HZ0003);教育厅B类项目(JB14028)资助
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用注射超声喷雾法将前驱体由针管直接送入超声喷头内,在石英基板上制备Zn_（1-x）Cr_xO（x=0.0,0.01,0.03,0.05）薄膜。采用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、荧光光谱仪、紫外-可见分光光度计、振动样品磁强计（VSM）等对薄膜的结构、光学和磁学性质进行测量。实验结果表明,未掺杂的ZnO薄膜为六角纤锌矿结构,沿着c轴（002）择优取向,而Cr掺杂抑制了薄膜的c轴择优取向性;掺杂后的薄膜平均晶粒尺寸均增大,且当x=3%时,晶粒尺寸最大,达31.4nm。扫描电镜（SEM）下薄膜呈球形颗粒状,并且
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