【摘 要】
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概述了基于聚焦离子束(Focused Ion Beam,FIB)加工技术制备金刚石切削具的相关研究进展,并介绍了金刚石具在超精密加工领域的研究背景及其制造现状。作为种先进的微纳制造技
【机 构】
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天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室天津市微纳制造技术工程中心,
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概述了基于聚焦离子束(Focused Ion Beam,FIB)加工技术制备金刚石切削具的相关研究进展,并介绍了金刚石具在超精密加工领域的研究背景及其制造现状。作为种先进的微纳制造技术,聚焦离子束已在微尺度金刚石具制造研究中发挥了重要作用。针对金刚石具的刃口半径、刃形精度等核心参数,国内外相关研究者展了聚焦离子束制造方法与工艺优化研究,实现了高质量具的制造,聚焦离子束加工可获得刃口半径为15~22 nm的金刚石具制造。从微观切削基础和微纳光学元件制造两个角度,论述了聚焦离子束制造金刚石具的应用研究进展,介绍了其在纳米切削机理、微纳尺度光学元件制造中的应用。后从提高FIB制造效率、应用研究拓展等角度,对该领域未来的发展进行了展望。
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