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近些年来,海洋资源的开发得到广泛关注.由于海水工况环境的特殊性,所以海洋工程装备需要以海洋专用材料作为支撑,以此提高其工作稳定性,工件材料在海水工况下不仅受到腐蚀、磨损的单独作用,二者的交互也加速了海洋工件材料的损伤.这是制约海洋材料应用与推广的一大难题.为了解决这一难题,通过采用物理气相沉积技术在关键摩擦副表面制备耐腐蚀磨损的涂层是十分有效的.本文主要论述了常用于制备薄膜涂层的物理气相沉积技术,讨论其技术原理、特点、发展历程和应用,最后对物理气相沉积技术的发展做出了展望.