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以瑞利型声板波为例，在有限元软件COMSOL中建立了声板波二维模型，仿真分析了声板波在自由空间中和负载液体时的特征频率。仿真研究表明：无论基片背面为自由边界还是金属边界，负载液体时都会导致声板波 A0和 S0模态特征频率发生变化，从而可用于液体的特征参数检测；由于 S0模态负载液体时会产生一定的衰减，因此声板波的 A0模态比 S0模态更适于液体传感。实际制作了两组声板波器件，采用网络分析仪测量了器件的幅频特性，实验结果与数值仿真结果基本一致，证明了理论模型的正确性和数值仿真的有效性。