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低温泵在当今生产研究过程中应用广泛,但其每工作一段时间后都需要进行"再生",所需时间长,泵效率低。本文对一种低温泵的吸附阵结构分析并设计了一种结合自动控制功能的快速再生加热系统,该系统由单片机编程控制,自动化程度高,再生时间短,使用方便,为国内低温泵快速再生环节的发展提供借鉴。
低温泵快速再生系统研究
【摘 要】
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低温泵在当今生产研究过程中应用广泛,但其每工作一段时间后都需要进行"再生",所需时间长,泵效率低。本文对一种低温泵的吸附阵结构分析并设计了一种结合自动控制功能的快速
【机 构】
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合肥工业大学机械与汽车工程学院; 电子工业部第十六研究所;
【出 处】
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真空科学与技术学报
【发表日期】
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2014年01期
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