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本文综述了反应离子刻蚀技术的概况,引用了文献71篇。对反应离子刻蚀的机理作了简单介绍,并对刻蚀的方向性、选择性、均匀性和重复性,刻蚀终点的检测以及辐射损伤和污染等问题进行了讨论。列举了各种半导体金属和电介质材料的反应离子刻蚀方法以及这种技术在清洗表面加工及声表面波频率微调等方面的应用。
反应离子刻蚀技术
【摘 要】
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本文综述了反应离子刻蚀技术的概况,引用了文献71篇。对反应离子刻蚀的机理作了简单介绍,并对刻蚀的方向性、选择性、均匀性和重复性,刻蚀终点的检测以及辐射损伤和污染等问
【机 构】
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四川压电与声光技术研究所
【出 处】
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压电与声光
【发表日期】
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1982年05期
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