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对感应耦合等离子体质谱(ICP-MS)在线快速定量分析气溶胶粒子技术进行了研究。振荡床发生稀土气溶胶粒子,将ICP-MS测得的离子簇脉冲数浓度与凝结核粒子计数器的读数比较,得到ICP-MS对粒子数浓度的相对计数效率。结果表明,ICP-MS对粒子数浓度的计数效率接近1。用振动孔气溶胶发生器发生单分散的硝酸铽粒子,并将ICP-MS测得的粒子中铽的响应信号与气溶胶发生器的计算值比较,获得了ICP-MS质量探测效率与质量的关系。在粒子物理直径实验范围内(0.4~3μm),ICP-MS探测到的离子数与粒子中T