【摘 要】
：
集成电路芯片28 nm以下特别是7 nm线宽不仅对大硅片各项性能要求越来越高,对刻蚀机上用的硅部件也提出了更严格的要求,例如硅环表面的均匀性,硅电极微孔内壁机械损伤和微孔表
【机 构】
：
北京有研科技集团有研半导体材料有限公司
论文部分内容阅读
集成电路芯片28 nm以下特别是7 nm线宽不仅对大硅片各项性能要求越来越高,对刻蚀机上用的硅部件也提出了更严格的要求,例如硅环表面的均匀性,硅电极微孔内壁机械损伤和微孔表面形貌等。在加工方法上,7 nm线宽用硅部件将采取更精细化的加工,用多步精磨削代替磨片,不仅可以提高平面度和粗糙度,还可以减少表面特别是亚表面的损伤层;硅电极采用改进后的打孔方式,解决微孔内壁机械损伤的问题,同时采取特殊的损伤检测方法来指导制造工艺的优化。本文对硅部件产品的加工流程进行了论述,指出了硅部件加工的最新发展趋势。
其他文献
文章通过对双创背景的分析,结合高校实验室发展现状,构建相应的实验室创新创业效率评价指标体系,然后使用偏最小二乘通径模型法确定各指标权重,找出制约高校实验室创新创业效
采用氯胺T将高粱中的氰化物衍生为氯化氰,利用顶空气相色谱法对不同高粱品种中的氰化物含量进行测定,建立了高粱原料中氰化物的检测方法。结果表明,该检测方法在氰化钾含量0~
取消全国高速公路省界收费站后,高速公路收费模式由传统的封闭式收费向不停车快捷开放式收费转变。本文以贵州省高速公路为例,从行业监管部门的角度,围绕新收费模式运维管理
预氧化的目的是使PAN原丝的线型大分子链经预氧化处理后转变为耐热梯型结构,不熔不燃,经得起高温碳化而保持纤维形态.实现这一转化的关键设备就是预氧化炉.研究表明,预氧化炉
以马铃薯新品种“泉云4号”为试验材料,以未添加激素的MS基础培养基为对照,研究在马铃薯MS基础培养基中添加不同外源激素6-BA和NAA,不同有机添加物番茄、马铃薯、香蕉对马铃