【摘 要】
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采用电感耦合等离子体增强物理气相沉积法制备了（Cu,Al）掺杂ZnO薄膜,超导量子干涉磁强计测试结果表明,薄膜具有室温的铁磁性。采用激光共聚焦拉曼（Raman）光谱研究了（Cu,Al）掺杂ZnO
【机 构】
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中国科学院上海硅酸盐研究所,中国科学院研究生院
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采用电感耦合等离子体增强物理气相沉积法制备了（Cu,Al）掺杂ZnO薄膜,超导量子干涉磁强计测试结果表明,薄膜具有室温的铁磁性。采用激光共聚焦拉曼（Raman）光谱研究了（Cu,Al）掺杂ZnO薄膜的表面特性,以两种处理方式对薄膜进行了Raman光谱测试：共聚焦模式从薄膜表面开始至不同深度处进行测试;对薄膜样品进行预处理加工,采用面扫描模式在薄膜平面对（Cu,Al）掺杂ZnO薄膜的斜面进行测试。分析了Raman光谱A1（LO）峰的中心位置和强度变化,结果表明,界面处晶格应力和缺陷明显增强。这些晶格畸变和点
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