【摘 要】
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应用交流阻抗谱技术研究了用射频磁控溅射法在Ａｌ２Ｏ３ 基板上制备的ＹＳＺ薄膜电性能。结果表明，在清洁的基板上制备的ＹＳＺ薄膜经６００℃以上热处理后具有较高的电导率，完全可以作为固体电解质使用。
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应用交流阻抗谱技术研究了用射频磁控溅射法在Ａｌ２Ｏ３ 基板上制备的ＹＳＺ薄膜电性能。结果表明，在清洁的基板上制备的ＹＳＺ薄膜经６００℃以上热处理后具有较高的电导率，完全可以作为固体电解质使用。
The electrical properties of YSZ thin films prepared by RF magnetron sputtering on Al2O3 substrates were studied by AC impedance spectroscopy. The results show that the YSZ thin film prepared on a clean substrate has high electrical conductivity after heat treatment above 600 ℃, and can be used as a solid electrolyte.
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