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在现有一台Marx发生器装置的基础上设计了一套完整的毛细管放电X光激光装置,包括Blumlein传输线、毛细管放电室、测量系统、主开关以及与真空系统、充气系统、Marx发生器的连接等部分.为弥补Marx发生器输出电压较低这一不足,达到足够的电流和电压,在设计过程中,对装置的各项参数进行了细致的计算和选取,并给出了预、主脉冲对毛细管放电的结果.