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滚动式涂胶机黄铁军ＴＪ－２０１型大面积滚动式涂胶机是电子工业部第四十五研究所研制的用于涂敷矩形大面积片子的专用涂胶设备。该机采用滚动旋转的方法，利用高速滚动旋转所产生的离心力，将基片表面多余的抗蚀剂甩出，从而得到一层均匀的光致抗蚀剂薄膜。滚动式涂胶机...
滚动式涂胶机
【摘 要】
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滚动式涂胶机黄铁军ＴＪ－２０１型大面积滚动式涂胶机是电子工业部第四十五研究所研制的用于涂敷矩形大面积片子的专用涂胶设备。该机采用滚动旋转的方法，利用高速滚动旋转所产生的离心力
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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1995年3期
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