【摘 要】
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介绍了半导体光声光谱气体检测的基本工作原理和相关技术,阐述了半导体激光光源特别是中红外半导体激光器的研究进展及其与光声光谱方法结合的应用现状,讨论了声信号的常用检
【机 构】
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室,中国科学院研究生院,
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介绍了半导体光声光谱气体检测的基本工作原理和相关技术,阐述了半导体激光光源特别是中红外半导体激光器的研究进展及其与光声光谱方法结合的应用现状,讨论了声信号的常用检测方法与改进方案,并展望了发展和应用的新方向。
The basic working principle and related technologies of semiconductor photoacoustic spectroscopy gas detection are introduced. The research progress of semiconductor laser sources, especially mid-infrared semiconductor lasers, and their application status with photoacoustic spectroscopy are described. The common detection methods of acoustic signals are discussed And improve the program, and look forward to the development and application of new directions.
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