【摘 要】
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为了降低电容式Sigma-Delta（ΣΔ）微机械（MEMS）加速度计的量化噪声,减小开关电荷注入和衬底噪声共模干扰,减小谐波失真,设计了一种全差分四阶ΣΔ加速度计的接口专用集成电路（ASIC
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为了降低电容式Sigma-Delta（ΣΔ）微机械（MEMS）加速度计的量化噪声,减小开关电荷注入和衬底噪声共模干扰,减小谐波失真,设计了一种全差分四阶ΣΔ加速度计的接口专用集成电路（ASIC）。提出了一种简单、有效的全桥平衡结构,减小了驱动信号变化时,运放输入共模的变化对电路的干扰;提出了双侧反馈结构,大大提高了系统线性度。设计完成了电荷积分器、全差分前置补偿电路、二阶积分器等电路。采用0.5μm两层金属两层多晶n阱CMOS工艺流片,测试结果显示:闭环系统噪声密度为75μg/Hz1/2,系统灵敏度为1.32 V/gn,非线性度0.085%,功耗40 m W。结果显示本次设计满足微加速度计接口电路的设计要求。
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