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电场分布是影响集成电光器件特性的主要因素。本丈研究了有限尺寸平行电极的电场分布，得到了其电荷分布密度、电容、电场强度的数学解析式，并分析了边缘电场效应，在此基础上得到了在集成电光器件中相邻光通道互不干扰所需的平行电极对的间隔距离。最后以单晶1×4光开关为例给出了当电极板长度为5mm、宽度为2mm、电极板间距为2mm时，离开电极板边缘3mm处的电场强度就已经降到电极板中心处的5％左右，引起的信道串扰约为0．25％，可忽略不计。