【摘 要】
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高频发生器是等离子体光谱仪的重要组成部分，其功率输出的稳定性对仪器的影响较大。常见的高频发生器分自激振荡式和它激振荡式两种，频率为２７．１２ＭＨｚ或４０．６８ＭＨｚ，最大输出功率为１．５－３ｋＷ．自激式高耗发生器结
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高频发生器是等离子体光谱仪的重要组成部分，其功率输出的稳定性对仪器的影响较大。常见的高频发生器分自激振荡式和它激振荡式两种，频率为２７．１２ＭＨｚ或４０．６８ＭＨｚ，最大输出功率为１．５－３ｋＷ．自激式高耗发生器结构简单，均由整流电源、振荡回路和电子管放大器组成，制造调试比较容易，但是频率及功率稳定性差。而它激式高频发生器由于是利用石英晶体的压电效应构成振荡器，频率稳定度高，耦合效率及性能较好，功率输出易于自动控制，但仪器线路复杂，放电回路电学特性的任何微小变化，就会导致阻抗失配，光谱仪不能正常工作，为此
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