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文章论述了超声波清洗技术在理论研究以及设备研制应用方面的进展。首先讨论了超声波清洗中空化效应的观测、空化气泡的运动特性以及空化强度的测量等方面的研究,并重点从数值模拟以及实验分析两方面介绍了频率、功率、温度等因素对超声波清洗效果的影响规律。然后是清洗设备中对于换能器指向性和匹配网络问题研究的论述以及近年来对频率自动跟踪技术的研究现状,并介绍了在各领域中采用不同超声波清洗技术的应用。最后,针对超声波清洗技术研究现状中存在的问题,提出超声波清洗技术今后的研究建议以及设备研制的方向。