精密光学刻线机新型刀架的设计分析

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本文从理论上分析了精密光学刻线机两种常用刀架的优缺点,提出了集两种刀架优点于体的新型刀架的设计方案。 In this paper, the advantages and disadvantages of two commonly used precision optical scribing machines are analyzed theoretically, and a new design of a new type of scribing machine is proposed.
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