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用Ｘ射线衍射和扫描电镜对不同厚度Ｔｉ的Ｐｔ／Ｔｉ电极的物要与形貌进行了分析。用金属有机化合物分解法通过多次匀胶，制备了０．７２－０．８７μｍ厚的ＰＬＴ铁电薄膜。并对其形貌，相结合介电和铁电性能与直流电阻特性进行对比研究，结果表明：不同厚度Ｔｉ的Ｐｔ／Ｔｉ电极对ＰＬＴ铁电薄膜的各种有明显的影响。
底电极对PLT铁电薄膜结构与电性能的影响
【摘 要】
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用Ｘ射线衍射和扫描电镜对不同厚度Ｔｉ的Ｐｔ／Ｔｉ电极的物要与形貌进行了分析。用金属有机化合物分解法通过多次匀胶，制备了０．７２－０．８７μｍ厚的ＰＬＴ铁电薄膜。并对其形貌，相结合介电和铁电性能与直流电阻特性
【机 构】
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西安交通大学电子材料与器件研究所
【出 处】
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功能材料
【发表日期】
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1997年2期
【基金项目】
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国家八六三计划新材料领域的资助
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