【摘 要】
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EMP5K机台采用MxP腔体,其下电极设计为cooling base+pedestal机构,由冷却液通入coolant base进行热交换,He气通入pedestal做背面冷却.这种cooling base和pedestal分体组合的设计,省去了下电极温控装置,易于加工、维护和维修.pedestal上的热量传导到cooling base后被coolant带走,可以满足薄AL工艺(小于1um)冷却圆片的要求,但对于厚AL工艺圆片,由于工艺过程中产生的热量累积更多,已无法有效冷却圆片,导致糊胶或CD异常.为了
【机 构】
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无锡华润上华科技有限公司,江苏无锡 214000
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EMP5K机台采用MxP腔体,其下电极设计为cooling base+pedestal机构,由冷却液通入coolant base进行热交换,He气通入pedestal做背面冷却.这种cooling base和pedestal分体组合的设计,省去了下电极温控装置,易于加工、维护和维修.pedestal上的热量传导到cooling base后被coolant带走,可以满足薄AL工艺(小于1um)冷却圆片的要求,但对于厚AL工艺圆片,由于工艺过程中产生的热量累积更多,已无法有效冷却圆片,导致糊胶或CD异常.为了满足厚AL工艺要求,探索尝试EMP5K机台下电极冷却系统性能优化改造.经过逐步研究优化机台性能,参考行业其他机台运行经验,从coolant循环系统的温控预警,到下电极冷却结构进行改造优化,克服了机台初始设计缺陷,最大限度满足在线实际工艺要求.
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