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在微分干涉相衬显微镜的基础上,加入波片相移装置及图像采集处理,建立了移相式微分干涉相衬显微测量系统 ;分析并解决了表面微观形貌测量中存在的一些技术难题;准确地重构出了物体的微观三维形貌 ,实现了物体的表面高度及粗糙度Ra的高精度测量.结果表明 :粗糙度重复测量精度为1.2 nm;形貌高度分辨率为4.6 nm.