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恒压式气体流量计变容室截面面积测量技术研究
恒压式气体流量计变容室截面面积测量技术研究
来源 :宇航计测技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:junwen2009
【摘 要】
:
为了研制恒压式气体微流量计,设计了以波纹管为主体的变容室,并对波纹管变容室截面面积进行了测量。采用多项式拟合公式对波纹管截面面积测量结果进行了修正,避免了波纹管非
【作 者】
:
赵澜
冯焱
成永军
张涤新
张瑞芳
【机 构】
:
兰州空间技术物理研究所
【出 处】
:
宇航计测技术
【发表日期】
:
2012年5期
【关键词】
:
+恒压式气体微流量计
+波纹管变容室
截面面积
测量
Constant-pressure gas flow meter +Bellow variable vol
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为了研制恒压式气体微流量计,设计了以波纹管为主体的变容室,并对波纹管变容室截面面积进行了测量。采用多项式拟合公式对波纹管截面面积测量结果进行了修正,避免了波纹管非线性的影响,结果表明修正后偏差小于0.16%,截面面积的测量结果合成标准不确定度小于0.53%,可以满足使用要求。
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