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高性能波导集成型锗pin光电探测器的制备

来源 :微纳电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zouxudong163

【摘 要】

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【作 者】

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刘道群  李志华  冯俊波  唐波  张鹏  王桂磊 

【出 处】

：

微纳电子技术

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

光电探测器 波导集成 选择性外延 锗(Ge) pin 绝缘体上硅(SOI) 

【基金项目】

：

国家科技重大专项(2017ZX02315004)

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