【摘 要】
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对大曲率半径（即长焦距）金属基底凹面光栅的机械刻划技术做了研究。为了刻制长焦距凹面光栅，设计和研制了弹性顶针式光栅刻划刀刀架，它具有适用于刻划平面光栅和长焦距凹面光栅的
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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对大曲率半径（即长焦距）金属基底凹面光栅的机械刻划技术做了研究。为了刻制长焦距凹面光栅，设计和研制了弹性顶针式光栅刻划刀刀架，它具有适用于刻划平面光栅和长焦距凹面光栅的双重功能。给出了描述光栅刻划刀圆弧形刀刃曲率半径与凹面光栅曲率半径、光栅口径、金刚石刀头横向尺寸之间关系的数学表达式，理论分析了光栅刻划刀圆弧形刀刃曲率半径的取值范围，研制了10．6μm激光系统用曲率半径为30m的凹面金属光栅。检验结果表明，光栅的槽形质量较好，光栅的衍射效率可达96．8％以上。
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