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一种高分辨力角位移传感器量程扩展方法
一种高分辨力角位移传感器量程扩展方法
来源 :光电子·激光 | 被引量 : 0次 | 上传用户:anpeila
【摘 要】
:
提出一种采用多探测光路的角位移量程扩展方案 ,可以在不降低分辨力的条件下 ,将量程扩展多倍 ,使传感器同时具有高分辨力、大量程的优点。结果表明 ,量程扩展到 36 0 ",两光路的分辨力分别为0 .0 0 4 "和 0 .0 0 5 "。
【作 者】
:
马军山
张世宙
【机 构】
:
上海理工大学光学与电子信息工程学院,日本东北大学大学院工学研究科
【出 处】
:
光电子·激光
【发表日期】
:
2002年09期
【关键词】
:
分辨力
角位移传感器
临界反射
量程扩展
Angle sensor Critical reflection Measurement range
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提出一种采用多探测光路的角位移量程扩展方案 ,可以在不降低分辨力的条件下 ,将量程扩展多倍 ,使传感器同时具有高分辨力、大量程的优点。结果表明 ,量程扩展到 36 0 ",两光路的分辨力分别为0 .0 0 4 "和 0 .0 0 5 "。
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