微位移定位系统在磁盘光刻伺服图形中的应用

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本文叙述了应用微移定位系统实现磁盘光刻伺服图形的精确定位,有效地提高磁盘存储器的道密度,这种方法将成为开发新一代大容量磁盘存储技术,有着良好的发展前景。
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