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低能电子显微术是新发展起来的一种显微探测技术。它的特点是利用低能（１－３０ｅＶ）电子的弹性背散射使表面实空间实时成像，具有高的横向（１５ｎｍ）和纵向（原子级）分辩率，且易与低能电子衍射及其他电子显微术相结合。近年来它已有效地应用于金属和半导体表面的形貌观测、表面相变、吸附、反应及生长过程的研究。