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阐述了电容式微机械静电伺服加速度计系统的基本结构和工作原理,详细分析并建立了在空间任一给定加速度a下加速度计的静态、动态和电模拟模型,指出敏感质量块各方向上的运动仅决定于该方向的加速度,由此建立各方向上的运动方程,并给出各参数的计算公式,为加速度计的设计和仿真奠定扎实基础.
电容式微机械静电伺服加速度计模型建立
【摘 要】
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阐述了电容式微机械静电伺服加速度计系统的基本结构和工作原理,详细分析并建立了在空间任一给定加速度a下加速度计的静态、动态和电模拟模型,指出敏感质量块各方向上的运动
【机 构】
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电子科技大学,中国工程物理研究院电子工程研究所
【出 处】
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探测与控制学报
【发表日期】
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2003年1期
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