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氢敏元件的种类及半导体薄膜材料在其中的应用

来源 :功能材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户：guanhuaicn

【摘 要】

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随着氢燃料电池技术在汽车应用中的日益完善,对高性能氢敏元件的需求也更加迫切.本文介绍了采用不同工作原理制备的氢敏元件的种类,着重描述了半导体薄膜材料的工作原理和改

【作 者】

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郝俊杰 李龙土 

【机 构】

：

清华大学材料科学与工程系

【出 处】

：

功能材料

【发表日期】

：

2004年1期

【关键词】

：

半导体薄膜 氢敏元件 氢燃料电池 氧化镓 汽车 hydrogen sensor thin filmGa_2O_3 

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随着氢燃料电池技术在汽车应用中的日益完善,对高性能氢敏元件的需求也更加迫切.本文介绍了采用不同工作原理制备的氢敏元件的种类,着重描述了半导体薄膜材料的工作原理和改性途径,并针对我国目前研究较少的Ga2O3新型薄膜材料进行了较为详细的综合论述.

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