【摘 要】
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基于衍射重叠相位恢复术(PIE),提出一种新的平面偏振双折射测量方法。利用PIE测量方法,对样品在两种不同偏振状态下形成的暗场探测光复振幅进行重建,并分别从探测光相位及复
【机 构】
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上海科技大学物质科学与技术学院; 中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室; 中国科学院大学材料与光电研究中心;
【基金项目】
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国家自然科学基金(U1730132,61705092,31522056,11647144);上海市自然科学基金(17ZR144820)
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基于衍射重叠相位恢复术(PIE),提出一种新的平面偏振双折射测量方法。利用PIE测量方法,对样品在两种不同偏振状态下形成的暗场探测光复振幅进行重建,并分别从探测光相位及复振幅之比中简单准确地提取相位延迟量及方位角,实现了双折射样品的二维定量测量。采用双折射分辨率靶对所提方法进行实验验证,所得结果与分辨率靶实际分布完全相符,相位延迟量最大误差不超过23.9 nm,方位角误差为0.49°。该方法结构简单,能解决传统平面偏光仪无法实现定量双折射测量的难题,同时减少了PIE扫描的次数,缩短数据采集时间及处理流程,为大口径光学器件的双折射检测提供了一种实用方法。
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