基于LiNbO3光弹波导的三分量混合集成加速度传感器

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A novel three-component hybrid-integrated optical accelerometer based on LiNbO3 photoelastic waveguide is presented. The photoelasitcity of LiNbO3 due to three-dimensional stress states is obtained analytically. We analyze the level of sensitivity to cross-axis accelerations which is a very important parameter for three-component accelerometer. Theoretically, the designed three-component hybrid-integrated optical accelerometer has a transverse sensitivity ratio (TSR) of zero. The sensor has a high natural frequency of 3.5 kHz and a linear broad working frequency.
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