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随着精密工作台运动速度和精度的进一步提高,对工作台的控制系统的要求也越来越高。本文针对微器件装配系统中粗动精密工作台的控制,研究了直流力矩电机的脉宽调制(PWM)驱动方法,控制系统通过引入速度和电枢电压负反馈,较好地解决了精密工作台低速爬行、死区和机械谐振等问题,满足了系统对运动快速性、低速平衡性和高精度的要求,最高调速比可达1294,工作台重复精度达±1μm。